一、定义
要说纳米，什么是纳米呢？纳米是一个长度计量单位，1 米等于1000，000，000纳米，可见纳米是多么小的一个计量单位。用纳米这么小的微粒制成的材料就是纳米材料。纳米材料与宏观材料迥然不同，它具有奇特的光、电、磁、热和力、化学等方面的性质。
那么什么又是硬度呢？从作用形式上，可定义为“某一物体抵抗另一物体产生变形能力的度量”；从变形机理上，可定义为“抵抗弹性变形、塑性变形和破坏的能力”或“材料抵抗残余变形和破坏的能力”。无论如何定义，在测量固体材料硬度时，总是将一定形状和尺寸的较硬物体即压头以一定的压力接触被测试材料表面。
硬度测量，不仅与材料的弹性模量、屈服强度、抗拉强度等力学性能有关，还与测量仪器本身的测量条件有密切关系。所以，硬度本身不是一个物理量，而是材料局部区域力学性能在特定条件下的整体表现。它是材料对外界物体机械作用（压入或刻划）的局部抵抗能力的一种表现。
纳米硬度计又名：压痕仪/硬度计/显微镜硬度计/超显微硬度计/动态超显微硬度计/纳米硬度计/纳米压痕仪等,是一种用于表征各种涂层、薄膜的机械性能、产品品质，包括硬度、弹性模量和断裂韧性等，表征的材料几乎包括所有类型的材料：柔软、硬质、脆性或延展性材料。
二、功能：
（1）测试前以及测试后使用光学显微镜自动进行检测
（2）电磁力驱动
（3）电容法测量压痕深度
（4）用于自动采集数据的软件包
（5）使用CSEM原子力显微镜扫描眼图像
三、使用范围：
纳米硬度计用于纳米量级的载荷和压痕深度的测量。适用于测量在微电子、汽车、光学以及医药等领域广泛使用的薄膜的硬度和弹性模量。
